为什么栅氧化层比较薄

2026-05-19 16:15:38
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回答1:

氧化层相当于结电容的介质,
根据平板电容容量的公式Cj=εS/d,d是介质的厚度,
可以看出结电容容量跟介质厚度成反比,
氧化层越薄电容量越大,相同栅极电压存储的电荷Qg=CV也就越多 。